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原理
只有在密封箱室保持一定负压的情况下才能采用这种方法。
这种方法主要在于测定事先用惰性气体净化过的密封箱室内部的氧气浓度的增加与时间的函数关系。 事先用惰性气体净化密封箱室的目的在于把箱室内残余的氧气浓度降低到与要测的泄漏率相容的水平。
通过从检验开始到检验结束之间密封箱室中氧气浓度的变化，可以利用下式导出密封箱室的小时泄漏率。
程序
让不活泼气体（高纯度氮气或氩气）流经箱室足够长的时间以净化箱室，连续监测氧气的浓度。如果 必要，可以使用混合设备（例如在箱室内安装风扇）。
当氧气浓度下降的速度和氧气浓度足够低（大约100vpm左右）时，停止净化过程，关闭密封箱室的排 气阀。
开动压力调节器把压力调节到工作相对压力（至少为250Pa，对于验收检验为1000Pa），在这同时先 使测量系统内的气体保持循环，随后同密封箱室内的气体也保持循环。
在氧分析仪读数稳定后，记下密封箱室内部的初始氧气浓度O2i、气压、温度和相对压力。
经过一段时间t，t的长短与要测的小时泄漏率相应（通常为30min），记下密封箱室内部的终了氧气 浓度O2f、气压、温度和相对压力。
含氧法的特点
这种方法特别适合于充有惰性气氛的密封箱室。这种方法能够测量很低的泄漏率。它具有对温度和气 压变化不太敏感的优点。不过，这种方法需要密封箱室中的气体完全混合，特别是对于大体积密封箱室。
检验有效的条件
检验有效的条件
检验过程中，应当满足下述条件：
a）内部温度变化小于3℃；
b）大气压变化小于1000Pa；
c）箱室内部相对压力的变化小于50Pa。
如果这些条件没有全部满足，必须重新进行检验。但是，在这些限值范围以内，不必由于这些变化而 对检验结果进行任何修正。
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